材料研究学报

作者：付晨,王立坤,邱茹蒙,王贵,蔡文豪,杨静凯,赵洪力

单位：燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004

关键词：无机非金属材料,FTO薄膜,喷雾热解,溶剂,光学性能,电学性能

基金：国家重点研发计划(2016YFB0303902);河北省重点基础研究项目(17961109D);国家自然科学基金(51602278);河北省自然科学基金(E2016203149);河北省教育厅青年拔尖人才计划(BJ2018004)

采用喷雾热解法(SPD)，分别使用甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇和去离子水作为溶剂制备F掺杂的SnO2(FTO)透明导电薄膜，使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四点探针电阻仪、霍尔效应仪和紫外可见分光光度计等手段对薄膜进行测试和表征，研究了溶剂对FTO薄膜结构、形貌和光电性能的影响，研究了溶剂对FTO薄膜结构与光电性能的影响。结果表明：FTO薄膜具有四方相金红石结构；使用不同溶剂制备的薄膜，其表面形貌和颗粒尺寸明显不同；使用甲醇为溶剂制备的FTO薄膜呈现饱满的金字塔状，晶粒尺寸均匀，结构致密，具有最佳的综合光学和电学性能，其电阻率可达4.43×10-4 Ω·cm，载流子浓度为9.922×1020 cm-3，品质因数为1.646×10-2 Ω-1，可见光区透射比均大于75%。

来源：2019年第4期

《材料研究学报》期刊编辑部

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