材料研究学报

作者：张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理

单位：1. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室;浙江省海洋材料与防护技术重点实验室 宁波 3152012. 宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司 慈溪 315300

关键词：材料表面与界面,氧化硅薄膜,等离子体增强化学气相沉积,功能装饰

基金：宁波市工业重点项目(2017B10042);慈溪市工业科技计划(2015A07)

用PECVD技术制备氧化硅薄膜，研究了生成样品的位置对薄膜成分、结构和性能的影响，探讨了制备兼具高透光性和耐刮擦性的功能装饰氧化硅薄膜的方法。结果表明，在阳极位置生成的薄膜具有Si(CH3)nO有机氧化硅结构，在380~780 nm波长范围内透光率高达90%~98%，但是薄膜的结构疏松，硬度仅为2 GPa。提高制备温度可使薄膜硬度提高至6 GPa，但是透光率略有降低；在阴极位置生成的薄膜具有无机氧化硅复合非晶碳结构，薄膜结构致密，硬度可达15 GPa，但是在380~780 nm波长范围内透光性差；增加O2反应气体可促使碳与氧反应生成二氧化碳，非晶碳结构消失，薄膜透光率提高到99%，但是硬度降低到9 GPa。

来源：2019年第6期

《材料研究学报》期刊编辑部

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