材料研究学报

作者：宋建宇, 李想, 王启安, 沈龙海, 齐东丽, 冯瑜, 陈建金

单位：沈阳理工大学理学院 沈阳 110159

关键词：无机非金属材料,磁场方向,碱液腐蚀,多晶硅,Lorenz力,绒面结构

基金：辽宁省自然基金指导计划(2019-ZD-0254)

在零磁场和2T、4T磁场中用NaOH溶液腐蚀制备多晶硅绒面结构，样品板平面分别平行和垂直于磁场放置。用电子天平称重表征硅片的腐蚀程度、用奥林巴斯LEXT OLS4100共聚焦显微镜观察多晶硅片形貌、用Ocean Optics USB4000光谱仪测量多晶硅片的反射率、用WT-1200硅片测试仪测量样品的少子寿命，研究了磁场方向对碱腐蚀构建多晶硅绒面结构的影响。结果表明：随着磁感应强度的提高多晶硅片的腐蚀程度严重，绒面结构变得均匀和细腻，反射率降低；在磁感应强度相同的条件下碱液中沿着磁场方向运动的OH-离子不受磁场力作用，而运动方向与磁场方向不完全一致的OH-离子受磁场产生的Lorenz力作用。Lorenz力使板平面垂直于磁场方向的硅片样品腐蚀程度更加严重、绒面和断层状结构细腻程度更加显著、少子的寿命更长、反射率更低。磁感应强度为4T时反射率降低到14.5%，在用碱液腐蚀制备多晶硅绒面结构过程中施加强磁场，板平面垂直磁场方向放置硅片减反射效果更加显著。

来源：2021年第9期

《材料研究学报》期刊编辑部

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