材料研究学报

作者：宋贵宏, 李秀宇, 李贵鹏, 杜昊, 胡方

单位：1.沈阳工业大学材料科学与工程学院 沈阳 1108702.广东腐蚀科学与技术创新研究院 广州 510530

关键词：无机非金属材料,热电材料,3Bi2薄膜')"href="#">Mg3Bi2薄膜,Seebeck系数,电阻率,磁控溅射

基金：国家自然科学基金项目(51772193)

采用Mg-Bi化合物靶和金属Mg靶用磁控溅射技术制备富Mg的Mg3Bi2薄膜并表征其相组成、表面和截面形貌，研究了薄膜的热电性能。结果表明，这种富Mg薄膜由Mg3Bi2相和金属Mg相组成且Mg3Bi2结构中有Mg空位，具有p型导电特征,Seebeck系数为正值。随着温度的提高，富Mg薄膜的电阻率先略微提高而后显著降低；随着Mg含量的提高富Mg薄膜的电阻率逐渐提高，但是Mg含量达到一定数值后电阻率又急剧下降。Mg含量较低时Seebeck系数随着温度的提高开始时略下降随后很快增大，达到最大值后又很快降低；Mg含量较高时随着温度的提高Seebeck系数开始时略增大，随后缓慢下降。除了Mg含量较低的样品，在温度相同的条件下随着Mg含量的提高薄膜的Seebeck系数值增大，但是Mg含量过高时Seebeck系数值迅速降低，达到普通金属材料Seebeck系数的数量级。这种富Mg薄膜的功率因子，受Seebeck系数和电阻率制约。

来源：2021年第11期

《材料研究学报》期刊编辑部

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