材料研究学报

作者：李修贤, 邱万奇, 焦东玲, 钟喜春, 刘仲武

单位：华南理工大学 材料科学与工程学院 广州 510640

关键词：材料表面与界面,α-Al2O3薄膜')"href="#">α-Al2O3薄膜,反应溅射,α籽晶')"href="#">α籽晶,低温沉积

基金：国家自然科学基金(51971095);广东省自然科学基金(2020A1515011087)

分别使用反应溅射Al+α-Al2O3(15% α-Al2O3，质量分数)复合靶和在金箔基体表面预植α-Al2O3籽晶，促进α-Al2O3薄膜的低温沉积。使用扫描电子显微镜(SEM)、掠入射X射线衍射(GIXRD)和能谱仪(EDS)等方法表征薄膜样品的表面形貌、相结构和元素组成。结果表明，在射频反应溅射Al+α-Al2O3复合靶、沉积温度为560℃条件下能在Si(100)基体上沉积出化学计量比的单相α-Al2O3薄膜；使用射频反应溅射Al靶、沉积温度为500℃条件下能在预植α-Al2O3籽晶(籽晶密度为106/cm2)的金箔表面沉积出化学计量比的单相α-Al2O3薄膜。两种研究方案的结果均表明，α-Al2O3籽晶能促进低温沉积单相α-Al2O3薄膜。

来源：2022年第1期

《材料研究学报》期刊编辑部

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