材料研究学报

作者：邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明

单位：1.北京科技大学新材料技术研究院 北京 1000832.北京科技大学顺德研究生院 广东 528399

关键词：评述,化学气相沉积,偏压,金刚石薄膜,异质外延生长

基金：国家重点研发计划(2018YFB0406500);国家重点研发计划(2016YFE0133200);欧洲地平线Horizon 2020计划(734578);北京科技大学顺德研究生院科研经费(2020BH015)

近年来，用偏压技术进行异质外延单晶金刚石生长并将其尺寸增大到英寸级以上。偏压技术强大的形核能力使其也可用于制备取向金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜和超纳米金刚石薄膜。本文综述了国内外关于偏压技术的机理以及偏压的形式和设备等方面的研究现状，以及表面反应模型、热尖峰模型和亚层注入模型的机理。常用的偏压包括直流偏压、直流脉冲偏压、脉冲叠合偏压和双极性脉冲偏压。还介绍了偏压对金刚石薄膜组织和性能的影响，详细阐述了其对取向生长，二次形核率，无定形碳-石墨-金刚石相转变以及生长速率和结合力的作用规律和机理。加偏压能改变轰击粒子能量和特定基团的浓度、影响金刚石相的转变和晶粒取向和尺寸，进而影响金刚石薄膜的光，力，热，电学性能。还讨论了目前研究工作中存在的一些不足，如偏压作用的机理仍不清晰，对电子浓度变化，氢原子刻蚀的作用尚缺少明确的解释等。最后展望了偏压技术在金刚石制备领域未来的研究和应用方向。

来源：2022年第3期

《材料研究学报》期刊编辑部

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